Китайские учёные разработали новый датчик влажности, превосходящий по своей эффективности уже существующие [1]. Пористый оксид получался анодным травлением с дополнительной обработкой в фосфорной кислоте. Изменение влажности в окружающем воздухе приводило к изменению ёмкости полученной структуры, которая измерялась по определению импеданса на частоте 1 кГц. Было показано, что новый датчик имеет более сильную зависимость емкости от влажности по сравнению с уже существующими датчиками. Авторы связывают это с высокой однородностью размеров пор.
РЭМ изображение оксида алюминия с разным временем обработки. a) 0 мин; b) 15 мин; c) 30 мин; d) 40 мин.
1. Lujun Yao, Maojun Zheng, Haibin Li, Li Ma, Wenzhong Shen, «High-performance humidity sensors based on high-field anodized porous alumina films», Nanotechnology, 2009, v. 20, No 39, art. 395501 (5 pages).
