Теплообменник позволяет поддерживать постоянную температуру подложки кристалла полупроводника и необходим при производстве полупроводниковой техники и жидкокристаллических дисплеев. Область использования теплообменников: травление, химическое осаждение из газовой среды, производство электролюминесцентных панелей. |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Технические характеристики
Блок-схема: |
Теплообменники LLC-X
Теплообменники LLC-X